Salle blanche pour microélectronique et semiconducteurs

 

Design de salles blanches pour microélectronique et semi-conducteurs

En raison de la nature sensible des produits, une salle blanche pour la fabrication de microélectronique et de semi-conducteurs nécessite un contrôle rigoureux de l’environnement. La salle blanche abrite aussi de l’équipement extrêmement précis et donc coûteux, comme les machines de photolithographie, de gravure, et de découpe. Par conséquent, tout défaut lié au niveau de propreté de la salle peut affecter le processus de production en entier. D’autres défis courants, lors de la conception et le design de ce type de salle blanche, sont de maximiser l’espace et de permettre une éventuelle reconfiguration. Pour toutes ces raisons, un système de salle blanche modulaire est souvent la solution optimale.

La salle blanche de l’usine de production (couramment désignée sous le nom de fab) est l’un des endroits les plus importants puisque l’environnement doit y être contrôlé afin d’éliminer toute poussière. La salle blanche doit aussi être amortie contre les vibrations, et contrôler étroitement la température et l’humidité. Les salles blanches servant à la fabrication de microélectronique et de semi-conducteurs varient de la classe 100 à la classe 100 000, selon les processus qui se déroulent à l’intérieur de celles-ci.

Les salles blanches MECART sont conformes à vos exigences quant à:

• l’étanchéité
• la filtration des rayons UV
• la non-rétention de particules
• la non-prolifération des agents contaminants
• l’anti-statique (ESD)

Dans certains cas, la salle blanche doit également se conformer aux spécifications associées aux charges et décharges électrostatiques (compatibilité ESD). Les panneaux en acier galvanisé Mecart sont compatibles ESD. Le contrôle de la charge statique est essentiel, car tout contact ou séparation de la matière produit une charge statique. L’électrostatique peut provoquer la contamination du produit, son endommagement par les décharges électrostatiques (ESD) ainsi qu’un mauvais fonctionnement de l’équipement de production causé par des interférences électromagnétiques. Contrôler la température et l’humidité est essentiel afin de minimiser l’électricité statique. Les salles blanches de MECART peuvent utiliser des systèmes de contrôle de haute précision pour l’humidité (jusqu’à ± 2%) et la température (jusqu’à ± 0,25 °C).